Fraunhofer HHI kiest voor Veeco's sputter-systeem

Instituut voor optische telecomonderzoek bestelt ionenbundelsputtersysteem om laserfacetcoatings en micro-optische apparaten te maken.
COATING

HHI zal Veeco's IBS-technologie gebruiken om laserfacetcoatings te creëren.

Veeco-instrumenten heeft aangekondigd dat het zijn Spector Ion Beam Sputtering (IBS) -systeem en het Sirius Optical Monitor System naar de Fraunhofer Instituut voor Telecommunicatie(HHI).
Het instituut, gevestigd in Berlijn, Duitsland, zegt dat het deze IBS-technologie zal gebruiken "om laserfacetcoatings en andere micro-optische apparaten te ontwikkelen en te produceren".
"De ontwikkeling van geavanceerde micro-optische apparaten vereist uitzonderlijke sputtertechnologie", aldus Greta Ropers, hoofd van de backend en verpakkingsgroep voor Fraunhofer.
"Veeco's Spector-systeem, in combinatie met het Sirius OMS, zal ervoor zorgen dat we apparaten van wereldklasse ontwikkelen en produceren met de hoogste doorvoer en procesherhaalbaarheid op een geautomatiseerd, gevestigd platform."

Optische dunne films
Volgens klanten genereert het Spector-platform optische dunne films van hoge kwaliteit met verbeterde productiviteit en doorvoer. In tegenstelling tot verdampingscoatings, worden ionenbundel-gesputterde dunne films afgezet met hoge energieën, wat een uitzonderlijke diktecontrole en lage defectdichtheden voor lasercoatingtoepassingen oplevert. .
"De Fraunhofer HHI is wereldwijd leider in de ontwikkeling van de volgende generatie laserfacetcoatings en micro-optische apparaten", zegt Dr. Adrian Devasahayam, vice-president en algemeen manager van Veeco's Advanced Deposition and Etch (AD&E) -activiteiten. "Het Spector-systeem biedt een ongeëvenaarde kwaliteit en flexibiliteit voor dunne films met precisie optische coating en zal hun ontwikkelingsdoelen versnellen."
Financiering voor dit project werd verleend door de Forschungsfabrik Mikroelektronik, een locatieoverschrijdende onderzoeksfabriek voor micro-elektronica en nano-elektronica, die elf instituten binnen de Fraunhofer Group samen met de Innovations for High Performance Microelectronics en het Ferdinand-Braun-Institut, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik, in gevaar brengt. Het systeem werd verkocht in samenwerking met Veeco's Europese kanaalpartner,Veonis Technologies.


Posttijd: 31 oktober 2019